投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的簡單介紹實驗室光刻機 光柵光刻機 集成電路光刻機 光刻設(shè)備 光刻機器投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的詳細信息HWGK0133X-18紫外線光刻箱,配備電子電源,無級調(diào)光,主要用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產(chǎn)測試。無紫外線泄露,保護人體不受紫外線傷害的UV光刻箱,自動旋轉(zhuǎn)托盤,全方位多角度平行光照射,無照射盲區(qū)。 設(shè)備組成 UV光源+光刻箱+自動轉(zhuǎn)盤+電源控制器 采用模塊型設(shè)計 采用模塊型設(shè)計,可手持、固定、箱式使用。 UV燈頭 包含一個長壽命的高壓汞燈,發(fā)射出UVA(300-400nm),主光強度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。 UV光刻箱 設(shè)備包含光刻箱,帶有箱門,開關(guān)方便,在元件的光刻過程中,能夠保護用戶免受紫外輻射。 內(nèi)置遮光型手動快門(工作時無紫外線泄露) 可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤 設(shè)備集成可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤,光刻效果更好,更徹底。 無級變光(光強可調(diào)) 燈管發(fā)光強度可以40%~100%,無級調(diào)節(jié)燈光強度,特別適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。 反光內(nèi)壁 光刻箱內(nèi)有反光的內(nèi)壁結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化設(shè)計的反光鏡,達到均勻照射效果。 強制風冷系統(tǒng) 光源、電源、光刻箱都集成冷卻風扇,使得系統(tǒng)在散熱良好的環(huán)境工作,增加了系統(tǒng)可靠性。
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