“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲立項

　　日前，沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得國家自然科學(xué)基金委員會立項批復(fù)，項目總經(jīng)費78萬元。

　　該項目由沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報，執(zhí)行年限為2014年1月至2017年12月。該項目將設(shè)計一種MEMS加速度傳感器，帶有主梁和超薄敏感微梁，主要基于納米功能材料來實現(xiàn)。

　　該MEMS加速度傳感器的靈敏度和溫度特性大大得到提升，主要得益于納米膜壓阻微梁之超常的機械特性，以及良好的壓阻特性。目前加速傳感器中普遍存在著諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，而如何解決這一難題成為業(yè)內(nèi)的一大挑戰(zhàn)。該項目將通過對該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計，解決該難題，并實現(xiàn)均衡提高固有諧振頻率和靈敏度。

　　利用納米膜壓阻微梁之超常的機械特性和良好的壓阻特性，提高靈敏度，改善溫度特性；通過對該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計，解決加速度傳感器中普遍存在的諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，達(dá)到均衡提高固有諧振頻率和靈敏度的目的；突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù)，研制出新型加速度傳感器樣品，并最終驗證這種壓阻加速度傳感器的可行性及優(yōu)勢。

　　該項目的開展可望在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學(xué)特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究中獲得創(chuàng)新性成果。在傳感技術(shù)日益受到高度重視的背景下，這些成果將具有廣闊的應(yīng)用前景。

　　研究人員將突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù)，研制出新型加速度傳感器樣品，并對其可行性和優(yōu)勢進(jìn)行驗證。該項目對于推進(jìn)我國在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學(xué)特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究具有重要意義，并為更深入和廣闊的應(yīng)用提供了可能。

　　國產(chǎn)傳感器的發(fā)展起步?jīng)]有國外早，尤其是國外一些高端技術(shù)的傳感器，有些甚至目前在我國都沒有那種技術(shù)去實現(xiàn)。但是隨著傳感器應(yīng)用范圍的擴大，我國有且需要技術(shù)精湛的人員去開發(fā)。